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技術文章

FFU設備的選用
　　**、靈活性。因為FFU是自帶動力的，它不受區域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據需要，分區控制。而且，隨著半導體生產工藝的變化，廠房布局必然要作相應調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會帶來二次投資。
　　**、可再利用性。從理論上講，一時不用的FFU設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
　　第三、負壓通風。這是FFU的獨特特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔靜廠房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區里，使得密封變得很簡單而且**。
　　第四、縮短建設周期。使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。

蘇公網安備 32050902100455號
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